1. 在工程竣工、交付使用时,系统的风量、风速、温湿度、风压均已调好,保证在
洁净室内系统除了通称的空调系统外,制程设备也包括在内,本节将对该二系统之运行维护及保养做概括性说明。
真空吸尘器,其功能是在吸取洁净室内地板上、下及设备上附着的尘粒和液体以防止这些尘粒的在飞扬,已达到清
芯片盒为放置芯片之用,故材质以选择不易磨损、不发尘易清洁的材
洁净服的材料以洗后或使用其他处理后仍不会变质或发尘者为基本条件,且其布料为不易燃烧、不
人员进出洁净室需给予规范管理外,原物料即设备的进出也必须经过洁净程序,方不同影响洁净室
1. 非作业人员或事先未得到许可者。2. 未按照规定
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1. 冷却塔安装a) 冷却塔应安装在通风良好的位置,
1. 阀门安装(1) 阀门应存放在干燥通风的室内,通道两端需封堵防
1. 阀体安装使用后,应根据有关消防安全要求,定期进行检查,一般一年不得少于
1. 先将电源接通2. 开门进入风淋装置,把门关上,
1. 高效过滤器安装前,必须对洁净室进行全面清扫、擦净,净化空调系统内部如有
安装:a) 安装前清洁;系统应空吹清洁,洁净室应再次全面清扫,必
1.中效过滤器后的送风管法兰铆接缝处要涂密封胶,涂胶前清除表面尘土和油污;法兰螺钉孔和铆钉孔间距不大
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