人员进出洁净室需给予规范管理外，原物料即设备的进出也必须经过洁净程序，方不同影响洁净室的洁净度。其进入洁净室的流程如下表所示。至于搬出则相反方向进行，但不须经洁净程序。

  原物料及设备进出用洁净室为洁净室等级为1000或10000级的房间，工作人员于其室内清洁设备或原物料时必须穿着洁净服，所使用的擦拭纸为无尘纸或不会脱落纤毛的无尘布，清洁剂处使用超纯水之外，并加入3~5%浓度IPA或丙酮化学品，以增强去污能力，由于IPA及丙酮具挥发性，此房间的排气效果须特别考虑。搬运设备时为免破坏支架及地板表面，必须事先于地板铺设已清洁过的不锈钢板，作为辅助。