真空吸尘器，其功能是在吸取洁净室内地板上、下及设备上附着的尘粒和液体以防止这些尘粒的在飞扬，已达到清洁的目的。由于真空吸尘器在作业时会有排气产生，若未经处理，将严重影响洁净室的洁净度和气流，因而真空吸尘器在排气口均装有HEPA过滤器，以除去尘埃。目前的高级洁净室均设有中央式吸尘系统，并于现场预留吸气口，故一般的清洁过程均利用次中央系统，以减少使用真空吸尘器的气流干扰。在使用中央系统时，必须注意排气量的控制，避免使洁净室内的压力降低至规定范围以下。至真空吸尘器因属洁净室内专用，故不可移至洁净室外使用，若不作业时应置放较低等级的洁净室中，且每次使用后应清扫吸管、收尘箱吸气系统。