洁净室内系统除了通称的空调系统外，制程设备也包括在内，本节将对该二系统之运行维护及保养做概括性说明。

洁净室之生产制造设备注意重点有三项

一、    生产设备的选择、布置与保养。

（1） 要选用发尘较少的生产设备及相关设备，尤其注意活动部分之发尘。

（2） 应选择尘埃影响较小的生产设备或周边设备。

（3） 生产用水、气体、药品等往往是造成污染的原因，故应配备过滤装置。

（4） 规划各设备配置空间时，宜事先考虑不易积尘聚灰的结构，并以容易清洁为原则。

（5） 真空泵等容易产生污染物的这类设备，应设置在洁净室外面或回风区，并加装排气管线排气。

（6） 设置给水管线、气体管线和电气系统时，其构造考虑到容易清洁，不易聚集污染物。

（7） 室内的温湿度控制，避免因湿度之下不当造成结露生锈。

（8） 当设备维修时易产生微尘粒子，故维修时尽量与洁净室外进行，并加以隔离栅隔离。

（9） 对于施工或维修厂商，应告知进出洁净室的各项规定，且负责工程师随时在侧监工。

（10）         应有洁净室专用工具组，且不得拿出洁净室外使用。

（11）         规划空间时若能临近洁净室设立一间维修和设备保养手册存放室，将是一理想之规划。二、    生产设备的防尘措施。

（1） 磨损、切削均为发生微尘之原因，故须发尘部分围盖之。

（2） 易产生尘埃的设备，若可能的话应布置与风尾地点。

（3） 在操作时，尽量减少触摸零件或产品。

（4） 不得有太大或不必要的操作动作，以免卷起附近的灰尘。

（5） 各项厂务设施的供应，如水、气体和化学品进入生产设备前应有过滤设备。

（6） 为不使气体或液体滞留，造成微污染，故管路配置应有旁路阀之设置。

三、    自动化与无尘化。

（1） 设立自动化传送系统，可减少人员方面带来的污染，费用相当昂贵，须详加评估。

（2） 建立管制项目如进入洁净室人员的资格限定，洁净室作业人员作业规定，洁净室管理规则等。

在洁净室维护方面，可分为三个部分加以说明，

   1）       建筑物之维护管理：

   a）       建筑物内定期检查清洁。

   b）      地板之清扫管理及损坏更新。

   c）      隔间墙及天花板检查清洁和封补。

   d）      窗户及门之保养等。

   2）       环境测定与管理：

建筑物内之运转环境状况，如温、湿度及微尘粒子数应每日定期测量，以确实掌握环境品质，遇有数据异常，可立即做紧急处理。

    a）       温、湿度及尘埃浓度管理，在前面已述及，唯其测量仪器应做定期校正检验，若有设备移动或施工时须做局部测量。

   b）      过滤网之管理：定期检查及更换。 

   c）       空气调节器之管理：定期检查隔板接缝及内部污染状况，冷热盘管是否有结露现象。

   d）      送风机之管理：定期检查送风机运转状况。

   e）       风管及出风口之管理：检查风管是否有腐蚀、污染、尘埃堆积或保温层脱落等。

   f）        测试及测量仪器管理：定期校正及保养。

  g）      室内压力管理：连续监视室内压力记录，以维持正压为基准。

  h）      冷冻主机、泵、锅炉及冷却塔之管理：定期检查保养及记录运转状况及水质变化分析，以调整加药量等。

   i）        洁净室停止运转而开关风机要点管理：启动后立即进行微尘粒子之测试，待洁净室恢复稳定正常时再开始作业。

过滤器更换周期

备注：1.出风口尘埃测试是在送风管或出风口附近进行。

           2.NBS是National Burear of standard简写（美国国家标准局）

     3.D.O.P是Di-Octyl-Phtalate简写（邻苯二甲酸二辛脂）

风机各项检查及周期

空调设备检查项目