洁净室内桌椅一般以不锈钢材质为主，必须表面加工处理，若不得不使用木制品或镀锌品，其表面须施环氧树脂加工以防止表面发尘。工作桌最好有打洞，边缘取倒角，以利气流的运动。椅子尽量采用没有背或脚踏板，椅脚高度以坐下来脚可触地为原则，但若一定须用高脚椅时，则要准备脚踏环，桌椅的脚最好安装上塑料小轮子或套上橡胶套。